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六羰基钨(钨气体)

FIB钨气体

中文名称:六羰基钨(钨气体)

英文名称:hexacarbonyltungsten

Cas No.:14040-11-0

分子式:C6O.W同分异构体

分子量:351.9006

EINECS号:237-880-2

外观:off-white powder

稳定性:air sensitive, store cold

应用:FIB线路修补、保护、沉积、ALD镀膜.

 

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