FIB铂气体

中文名称：三甲基甲基环戊二烯铂(IV（铂气体 ）         

英文名称：(Trimethyl)methylcyclopentadienylplatinum(IV)

CAS：94442-22-5

含量：99%(99.9999%-Pt)

分子式：C9H16Pt

分子量：319.32

分子结构：

外观：off-white powder

稳定性：air sensitive, store cold

应用：FIB线路修补、保护、沉积、ALD镀膜.